зи процес, ние ще разгледаме това, което става в операционната един, както и някои от най-новите открития в SEM технология. Но преди да се научи за това къде се оглавява технологията, нека да погледнем, където започна всичко.
История на сканиращ електронен микроскоп
<р> Развитието на СЕМ започна с повече от хленчене от гръм и трясък. Когато технологията за първи път е представен през 1935 г., група от специалисти по маркетинг беше помолена да оцени потенциала на новия инструмент е на пазара. След избирателните научната общност, маркетинговите експерти не са твърде оптимистични. Те оценява необходимост от най-много 10 на устройствата в световен мащаб. Както се оказва, експертите значително подценява потенциала на СЕМ, и за щастие, тяхната мрачна прогноза не успя да възпре по-нататъшно развитие на технологията. В резултат на това повече от 50000 SEMs изпълват лаборатории и бизнеса по целия свят [източник: Breton]. И така, как SEMs ходят от близо остаряване на основните изследователски инструменти, които те са днес?
<Р> За едно нещо, учените бяха изтласкани Оптични микроскопи, до краен предел. Оптични микроскопи са били около продължение на векове, и докато все още можете да ги намерите в класните стаи в цялата страна, зависимостта им от светлина се бе превърнал в проблем. Тенденция Light да пречупвам, или огъват около ръбовете на оптични лещи, ограничава възможностите и разделяне на оптични микроскопи увеличение. В резултат на това учените започват да се развиват нови начини да проучи микроскопичния свят около тях, а през 1932 г., произведени в света първо изпращане електронен микроскоп (TEM). Този инструмент насочва лъч от електрони през пробата под наблюдение и след това проекти полученото изображение на флуоресцентен екран. Прожекционни системи, както можете да се досетите, споделят много общи неща с СЕМ, и това е само въпрос на няколко години, преди да са разработени СЕМ.
<Р> Тъй като развитието на прожекционни системи е в ход към момента СЕМ дойдоха заедно , последните са били първоначално смятаната ненужни. Той взе непоколебима резолюцията на CW Оутли, професор по инженерство в университета в Кеймбридж, за да се премести на по-нова микроскоп напред. Работи в тясно сътрудничество с няколко от неговите колеги и студенти, Oatley успя да докаже, както увеличение на потенциала на SEM и удивително качество на 3-D изображения го произвежда. Днес СЕМ се използват рутинно в задачи като инспектор полупроводници за дефекти или проучване как на
Извличане на знание
