генерират малки нива на радиация под формата на рентгенови лъчи, както електрони под повърхността на образеца се откъснат и заменени с други електрони. Докато рентгенови лъчи са опасни по своето естество за хората, не трябва да бъде прекалено притеснен за извършване на SEM. Повечето от инструментите имат силно изолирана проба камера, предназначена да пази електрическо и магнитни смущения, така че всички рентгенови лъчи, генерирани в процеса на увеличение не следва да представляват заплаха за оператора. И все пак, изследователите трябва да сте сигурни, за да спазва всички мерки за безопасност, отнасящи се до дейността на СЕМ в тяхната институция.